ثنائي كلورو السيلان
مركب كيميائي
(بالتحويل من ثنائي كلورو سيلان)
ثنائي كلورو السيلان (H2SiCl2) (اختصاراً DCS) وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2]
ثنائي كلورو السيلان | |
---|---|
![]() |
![]() |
الاسم النظامي (IUPAC) | |
Dichlorosilane |
|
أسماء أخرى | |
Silicic dichloride dihydride |
|
المعرفات | |
رقم CAS | 4109-96-0 ![]() |
بوب كيم (PubChem) | 61330 ![]() 22967941 ![]() |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
|
|
|
|
الخواص | |
صيغة كيميائية | H2Cl2Si |
كتلة مولية | 101.01 غ.مول−1 |
المظهر | Colorless gas with characteristic odor |
نقطة الانصهار | -122 °س، 151 °ك، -188 °ف |
نقطة الغليان | 8 °س، 281 °ك، 46 °ف |
الذوبانية في الماء | Reacts |
ضغط البخار | 163.6 كـبا (20 °م) |
المخاطر | |
صحيفة بيانات سلامة المادة | ICSC 0442 |
فهرس المفوضية الأوروبية | Not listed |
مخاطر | Extremely flammable gas, explosive in air |
NFPA 704 |
|
نقطة الوميض | −28 °م |
حدود الاشتعال | 4.1–99% |
مركبات متعلقة | |
chlorosilanes ذات علاقة | Chlorosilane ثلاثي كلورو السيلان رباعي كلوريد السيليكون |
مركبات ذات علاقة | Difluorosilane Dibromosilane ثنائي كلورو الميثان |
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
تعديل مصدري - تعديل ![]() |
عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد.
وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيليكون.
طالع أيضاً
عدلمراجع
عدل- ^ Record of CAS RN 4109-96-0 in the GESTIS Substance Database from the IFA, accessed on 9 décembre 2012
- ^ "nchem.403-comp13 - Compound Summary". PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. 27 مارس 2005. Identifiers and Related Records. مؤرشف من الأصل في 2012-10-10. اطلع عليه بتاريخ 2011-11-30.
ثنائي كلورو السيلان في المشاريع الشقيقة: | |
|