أنظمة ميكانيكية دقيقة
يفتقر محتوى هذه المقالة إلى الاستشهاد بمصادر. (نوفمبر 2020) |
أنظمة ميكانيكية دقيقة (بالإنجليزية: Microoptomechanical systems) المكتوبة أيضًا على أنها أنظمة ميكانيكية بصرية دقيقة ، وهي فئة خاصة من الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) التي تستخدم مكونات بصرية وميكانيكية ، وليست إلكترونية.
المراجع
عدل
