نظم كهروميكانيكية صغرى: الفرق بين النسختين

كما هو معروف ان السيليكون هو العنصر الأساس في تصنيع الدوائر المتكامله. ونظرا لأنهلأن معظم التقنيات التي تستخدم في تصنيع الدوائر المتكامله، جعلت السيليكون هو العنصر الأغلب في تصنيع هذه النظم الميكانيكية الكهربائية الصغرى بواسطة السيليكون، حيث استخدمت نفس الآلات ونفس التقنيات المعروفة في تصنيع الدوائر المتكامله.