نظم كهروميكانيكية صغرى: الفرق بين النسختين

===المواد المستخدمهالمستخدمة في التصنيع===

كما هو معروف ان السيليكون هو العنصر الأساس في تصنيع الدوائر المتكامله. ونظرا لأنه معظم التقنيات التي تستخدم في تصنيع الدوائر المتكامله، جعلت السيليكون هو العنصر الأغلب في تصنيع هذه النظم الميكانيكيهالميكانيكية الكهربائية الصغرى بواسطة السيليكون، حيث استخدمت نفس الآلات ونفس التقنيات المعروفة في تصنيع الدوائر المتكامله.